準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體,產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)為172nm。
1975年包括美國(guó)政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心,準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠家,Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室,和美國(guó)桑迪亞國(guó)家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。
1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺(tái)商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。
迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。
使用準(zhǔn)分子激光技術(shù)所進(jìn)行的工業(yè)加工任務(wù)各不相同,這就促使了準(zhǔn)分子激光氣體在準(zhǔn)分子激光技術(shù)產(chǎn)品具有更廣的輸出特性。本質(zhì)上,所有的應(yīng)用都要求具有高可靠性,激光壽命更長(zhǎng),太原準(zhǔn)分子預(yù)混氣,運(yùn)轉(zhuǎn)成本更低。在三方面主要應(yīng)用的促進(jìn)下,激光器制造商已經(jīng)取得了大量重要的技術(shù)進(jìn)步。新一代的準(zhǔn)分子激光器維護(hù)間隔時(shí)間更長(zhǎng),自動(dòng)調(diào)節(jié)能力更先進(jìn),所需支的擁有成本也更低。
準(zhǔn)分子激光技術(shù)(準(zhǔn)分子激光氣體產(chǎn)生激光)在制造業(yè)微加工應(yīng)用不斷擴(kuò)大,包括鉆石等激光打標(biāo)、材料表面改性、高碳鋼淬火、三維加工。準(zhǔn)分子激光技術(shù)在微加工中可以得到小孔,刻線,以及其他三維復(fù)雜的圖案,如果結(jié)合有效反饋( 比如,用激光測(cè)量)來(lái)控制光的輸入,加工精度在深度方向可達(dá)亞微米量級(jí)。準(zhǔn)分子激光氣體使用短波長(zhǎng)使得側(cè)向的精度可達(dá)亞微米量級(jí);然而,實(shí)現(xiàn)亞微米量級(jí)不僅依賴于激光性能。它還要求高重復(fù)率的運(yùn)動(dòng)控制,準(zhǔn)分子預(yù)混氣供應(yīng),通常使用帶空氣軸承的平臺(tái)來(lái)移動(dòng)基底和鏡片,鏡片移動(dòng)需要考慮到足夠的焦深,同時(shí),實(shí)際加工時(shí)需要足夠大的視場(chǎng)。準(zhǔn)分子激光氣體尤其適合大面積,集中且重復(fù)性強(qiáng)的圖案。
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